ETUDE ET CARACTERESATION D’UN CAPTEUR DE PRESSION PIEZORESISTIF - BOUGHRARA, Bilal (Université Mohamed Boudiaf - M'Sila, 2012)
Il existe de nombreuses sortes de capteurs, permettant d’exploiter de façon ingénieuse les lois physiques à partir d’un relevé électrique. Nous nous sommes intéressés particulièrement au capteur de pression piézorésistif. L’objectif de ce travail est l’étude et la modélisation des capteurs de pression piézorésistifs au silicium. Le corps d’épreuve de ce dispositif est une membrane fine au silicium parfaitement encastrée aux bords, soumise à une pression uniforme et constante. La modélisation de cette membrane est effectuée dans le cas des petites perturbations par la méthode de Galerkin, en vue de déterminer la solution de l’équation de Lagrange d’ordre 4 régissant la déflexion d’une plaque parfaitement encastrée aux bords . Par ailleurs, Une étude en fonction de la géométrie de la membrane a montrée les avantages et les inconvénients de chaque forme. Ce qui permet de donner au concepteur des critères de choix en fonction du domaine d’application souhaitée. A partir des relations d’élasticité de Hooke reliant les contraintes et les déformations, les valeurs optimales des contraintes engendrées sur la membrane ont été déterminées. Les résultats de la modélisation obtenus ont été appliqués en premier lieu à un capteur de pression piézorésistif. Son principe est basé sur l’utilisation de jauges de contraintes piézorésistives diffusées, implantées ou déposées sur la membrane. L’emplacement des jauges et leurs orientations ont été choisies judicieusement afin d’obtenir une réponse optimale et linéaire ainsi qu’une valeur maximale de sensibilité du capteur.
Keywords: CAPTEUR,PRESSION PIEZORESISTIF