Etude des propriétés structurales, optiques et électriques des oxydes transparents conducteurs nanostructurés de ZnO dopé Al. - AOUINA, Wafa (Université Mohamed Boudiaf, M’sila, 2016)
Dans ce travail de mémoire, nous avons étudié les propriétés structurales, optiques et électriquesdesOTCnanostructurésdeZnOdopéaluminiumencouchesmincesdéposéespar latechniquedepulvérisationcathodiqueRF-magnétronlessubstratsdeverre. Lespropriétés structurales, optiques et électriques des couches minces déposées avec différentes concentrations d’aluminium ont été étudiées. Les résultats obtenus de DRX ont montré que tous les filmsdéposésontunestructurehexagonaledetypewürtziteavecuneorientationpréférentielle selon l’axe c perpendiculaire à la surface de substrat. Les meilleures propriétés électriques mesurées par effet Hall sont ρ= 4.7 ×10−4 Ω.cm, µ= 18 cm2.V−1.s−1, elles ont été obtenues pour les échantillons de ZnO:Al avec une teneur d’aluminium de 3%. Les couches minces présentent une transmission moyenne > 80% .
Keywords: ZnO:Al, Couches minces, pulvérisation RF-magnétron, substrat de verre, OTC.