توزيع الإشابة المزروعة في ا لشبكة مسبقة الإشابة - علي منالله (UNIVERSITE MOHAMED BOUDIAF - M’SILA, 2023)
هناك العديد من طرق التطعيم للمواد الشبه الموصلية نذكر منها : التطعيم عن طريق التحويل النووي ، تطعيم بتقنية الليزر، التطعيم عن طريق قذف الأيونات في هذا العمل، تمت د ا رسة عدة معاملات متعلقة بزرع الأيونات للكربون في السيليكون عبر محاكاة،الذي يسمح لنا بتوقع ظواهر التصادم . تمت عملية التمثيل باستخدام البرنامج بين أيونات الكربون وهدف من السيليكون المطعم بالنتروجين يدعى. SRIM من الناحية التجريبية، تم إعداد العينات SiNx/SiO2/Si عن طريق زرع أيونات C+ في هذة العينات و من نتائج هذه المحاكاة تم د ا رسة المعاملات متعددة ذات علاقة بالتطعيم بنوعيه نذكر منهم :حساب تركيز التطعيم ,فقدان الطاقة للأيونات داخل المصفوفة البلورية للمادة , ،طاقات الأيونات الارجاعية ، والأيونات المبعثرة،الفونونات .وتم د ا رسة تغي ا رت هذه المعاملات وتسجيل منحنياتها بدلالة طاقة قذف الايونات وتمت مقارنة النتائج المتحصل عليها ومناقشتها .