Étude de l’effet de l’épaisseur sur les propriétés structurales et optiques des couches minces de ZnO:Al

Abstract

Dans ce travail de mémoire, nous avons étudié l’effet de l’épaisseur sur les propriétés structurales et optiques des couches minces de ZnO dopé 2.5 % d’aluminium. Ces derniers ont été déposées par la technique de pulvérisation cathodique RF-magnétron sur les substrats de verre avec trois épaisseurs différentes de ZnO : Al (400, 750 et 950 nm). Les résultats obtenus de DRX ont montré que tous les films déposés ont une structure hexagonale de type wurtzite avec une orientation préférentielle selon l’axe c perpendiculaire à la surface de substrat. Les résultats de spectrophotométrie UV-Visible ont montré que tous les couches de ZnO:Al sont transparentes et ont une transmission moyenne supérieure à 85 % dans le domaine de visible. L’augmentation de l’épaisseur de la couche améliore la qualité cristalline du film et augmente le gap optique, par contre la transmission optique est diminue avec l’augmentation de l’épaisseur.