Contribution à l’amélioration de la résolution en profondeur de l’analyse SIMS

Abstract

La spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) est une importante technique pour la réalisation des profiles en profondeur. Cependant les développements SIMS ne sont pas aussi prononcés et rapides que ceux des techniques de fabrication de la microélectronique. De plus, l’analyse SIMS, de par son principe, implique un élargissement et décalage des profils mesurés vers la surface. Ce travail est consacré à l’amélioration de la résolution en profondeur de l’analyse SIMS au moyen d’une technique de déconvolution. La déconvolution des profils SIMS est un problème inverse mal posé. La présence de bruit dans la mesure complique les calculs, et il et faut prendre certaines précautions pour obtenir une solution acceptable. L’objectif est de premièrement régulariser le problème mal posé .Ci peut être réalisé par l’utilisation d’une technique itérative. De plus, il faut appliquer des contraintes dures pour forcer la solution obtenue à satisfaire les propriétés physiques connu auparavant sur les mesures comme la positivité. Les résultats obtenus des profils déconvolués nous a montré une amélioration très satisfaisante de la résolution en profondeur, le décalage et l'élargissement des profils sont corrigés.