ETUDE ET SIMULATION DES PROFILS EN PROFONDEUR DE L’ANALYSE SIMS

Abstract

La demande en résolution en profondeur est de plus en plus pressante dans le domaine d’instrumentation. Les performances présentées par l’analyse SIMS l’ont imposée comme un outil incontournable dans ce contexte. Ce travail était consacré à l’étude et la simulation des profils en profondeur de l’analyse SIMS. La procédure de simulation est très simple. Elle consiste à convoluée le profil réel considère par la fonction résolution en profondeur (DRF) et additionné ensuite une composante de bruit. La simulation a été faite à basse et à haute énergie. Il a été observé que les performances de l’analyse à basse énergie sont meilleurs que ceux à haut énergie. Cependant, l’analyse à basse énergie est influencée parfois par l’apparition de la rugosité qui conduit à la dégradation de la résolution en profondeur. Ceci conduit à l’utilisation des algorithmes de déconvolution pour améliorer la résolution en profondeur de l’analyse SIMS. L’intérêt des profils simulés dans ce cas est la vérification des performances des ces algorithmes.