ETUDE D’UN CAPTEUR DE FORCE PIEZORESISTIF

Abstract

L’objectif du travail effectué dans ce mémoire est l’étude et la simulation d’un capteur de force. Notre capteur est constitué d’un microlevier en SiO2 sur lequel est implanté une résistance variable en Si. Les caractéristiques mécaniques du microlevier à savoir le stress et le déplacement sont simulés par le logiciel COMSOL, d’autre part on étudier l’influence des paramètres géométriques sur la sensibilité ΔR/R.