Propriétés physiques des couches minces en présence des défauts de gravure isotrope

Abstract

L’objectif de ce mémoire était d’étudier les propriétés physiques des poutres intégrées dans les systèmes micrométriques comme élément de base, en tenant compte de l’effet du non uniformité de la structure géométrique. L’étude est basée sur l’analyse vibratoire de poutres afin de développer de nouveau modèle théorique afin d’améliorer l’extraction des propriétés physiques des couches minces. Nous avons présenté le principe d’intégration de la poutre dans les systèmes, ses enjeux scientifiques et stratégiques et les méthodes de la caractérisation mécanique des couches minces. Le modèle analytique dès la micropoutre présenté est corrigé, puis analysés à partir de simulations par méthode des éléments finis (MEF) sous le logiciel COMSOL pour tester leur validité et déterminer les facteurs de correction qui compte de l'effet du largeur sur le module de Young, l’effet de la sous-gravure à sur la fréquence de vibration et celui de la section droite non-rectangulaire de la poutre sur l'inertie de la structure vibrante. Enfin, les résultats montrent que le comportement des micropoutres élaborées par la gravure isotrope est bien liée à la variation leurs paramètres géométriques qui montre la nécessité de prendre en considération la correction des défauts technologiques pour bien extraire les propriétés physiques des couches minces.