Elaboration et Caractérisation Des Couches Minces du SnO2 Non Dopée et Dopées Fluor par Spray Pyrolyse

Abstract

Dans ce travail, nous avons élaboré et caractérisé des couches minces d’oxyde d’étain(SnO2) non dopée et dopées Fluor pour différents taux 6%, 8%, 10% et 12% déposées par spray pyrolyse. Les résultats de la caractérisation de DRX montre queles couches sont cristallines avec une structure cubique due à l’existence du pic plus intense relatif à l’orientation (111) situé autour de l’angle 31.69° pour tous les films déposés. L’analyse par le spectrophotomètre UV-Visible montre une augmentation de la transmittance (de 65% à 76%) et le gap optique (de 3.46 eV à 3.92 eV) avec une décroissance de l’indice de réfraction et la porosité en fonction de dopage F. Pour la caractérisation électrique, la conductivité électrique variée entre 3.885 (Ω.cm)-1 et 79.103 (Ω.cm)-1pour les films dopés Fluor dans la plage 0%-12%. Donc, le Fluor est un paramètre important utilisé pour améliorer la transmittance et la conductivité des films à base de SnO2 élaborés par Spray pyrolyse.