Etude des propriétés structurales, optiques et électriques des oxydes transparents conducteurs nanostructurés de ZnO dopé Al.

Abstract

Dans ce travail de mémoire, nous avons étudié les propriétés structurales, optiques et électriquesdesOTCnanostructurésdeZnOdopéaluminiumencouchesmincesdéposéespar latechniquedepulvérisationcathodiqueRF-magnétronlessubstratsdeverre. Lespropriétés structurales, optiques et électriques des couches minces déposées avec différentes concentrations d’aluminium ont été étudiées. Les résultats obtenus de DRX ont montré que tous les filmsdéposésontunestructurehexagonaledetypewürtziteavecuneorientationpréférentielle selon l’axe c perpendiculaire à la surface de substrat. Les meilleures propriétés électriques mesurées par effet Hall sont ρ= 4.7 ×10−4 Ω.cm, µ= 18 cm2.V−1.s−1, elles ont été obtenues pour les échantillons de ZnO:Al avec une teneur d’aluminium de 3%. Les couches minces présentent une transmission moyenne > 80% .